序号

名称

规格、型号、技术参数

单位

数量

预算

1

离子泵（75L/s）  

型号：Valcon Plus 75 Star Cell

1.每套包括一根4米长高压电缆线，一个IPCMini 单通道 StarCell 离子泵控制器，一个离子泵加热器（Heater for VacIon Plus 75 (220V) 250 W）

2.抽速范围: 0.2L/s 至 1000 L/s

3.三种不同的抽气单元可抽除所有可能的气体混合物

4.专用陶瓷绝缘子延长泵的寿命

5.氮气名义抽速: 65L/s

6.在 1 x 10^-6 mbar 压力下的工作寿命: 80,000小时

7.最大启动压力:≤5x10^-2 mbar

8.极限真空:<10^-11 mbar

9.抽气口法兰:6英寸

10.最高烘烤温度:350 ℃

11.重量: 19 kg

12.外部尺寸：(H×W×D)  242.1mm×136.5mm×310mm

套

2

9万元

2

超高真空规

型号：UHV-24P规

1.可以测量低于 2 x 10^-10 torr 的压力。

2.压力范围:5 x 10^-12 至 1 x 10^-3 Torr

3.灵敏度:20 Torr^-1

4.测量精度:在压力范围内不超过全量程的 20%

5.发射电流:默认 4 mA（10 A 至 9.99 mA）

6.烘烤温度:450 ℃，带有电缆连接

7.温度限:运行温度 0 ℃ 至 250 ℃；储存温度 -15 ℃ 至 80 ℃

8.除气:65 mA 下电子轰击 400 V

9.材料:304 不锈钢、陶瓷、可伐合金、铱或钨

套

2

2.1万元

3

真空规控制器

型号：XGS-600

接受三种(热电偶对流规, 热灯丝离子规, 反磁控规)不同类型的真空规，在这些真空规控制电路板之间切换就可以操作不同的真空规。

1.最多可安装 6 个真空规控制电路板

2.允许同时操作多达12个规管，并且可以在任意时间显示多达8个规管的读数。所有设置都存储在闪存中，断电后无需重新编程。

3.测量范围:1 x 10^-11 Torr 到大气压，取决于所选的真空规控制电路板和真空规管类型.

4.设定点:8个常开设定点（集电极开路），具有可独立编程的开、关延迟，手动控制.

5.快速设定点响应:最大20 ms（延迟设置为 0.0 s）.

6.串行通信:RS232和RS485（完全可编程），Profibus DP（可选）.

7.模拟输出:1 v/dec对数，0 - 10 V全量程，真空规控制电路板刷新速率为 200 ms.

8.I/O 控制:远程规管开/关，脱气开/关输入。

9.输入功率/温度: 100 - 240 VAC，2 A，50/60Hz；5 - 40ºC环境温度.

套

1

1.5万元

4

钛升华泵（灯丝型）

   包括一个灯丝型升华泵（可烘烤到400摄氏度含钛灯丝，CF35接口）及一根不短于3米电缆，以及一个控制器(TSP CONTROLLER WITH RS 232, 220V).

1.每根灯丝可用钛量：1.1g（总共3根灯丝，3.3g可用钛）

2.可用真空范围：10^-4到10^-12 mbar

3.控制器的输入电压: 220V AC±10 %

4.输入频率:47-63 Hz

5.功耗：1400VA（最大值）

6.输出电流：30-50A

7.使用温度：0-45ºC

8.使用湿度：小于90%

9.存储温度：-20-+70 ºC

套

2

5万元

5

微调放气阀(手动)

1.包括可移动的活塞。

2.带1.125英寸ConFlat气体入口法兰

3.范围:从大气压到低于 10^-11 torr (mbar)

4.在灵敏度 1 x 10^-10 std cc/s 的氦质谱检漏仪上检测不到泄漏

5.最大流导 6 l/m

6.可烘烤至 450ºC

个

1

1.6万元